普普通通的沙子是如何完成到芯片的华丽转身

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#芯片#

大家都知道芯片的制造,离不开硅,至于有小伙伴会问为啥用硅来制备芯片,不妨看看这篇文章:

为什么用硅来制备半导体芯片?是什么奠定了硅的统治地位?

而硅的来源就是我们日常所见的砂子,几乎是随处可见。那么砂子是如何完成这样的华丽的转身的呢?一起看看期间奇妙的过程吧。

硅晶圆的制备

虽然硅在地壳中,它是第二丰富的元素,构成地壳总质量的26.4%,仅次于第一位的氧(49.4%),但是,极少以单质的形式在自然界出现,而是以复杂的硅酸盐或二氧化硅的形式,广泛存在于岩石、砂砾、尘土之中。所以石英砂到硅晶圆的过程,其实就是硅的不断提纯的过程,最后硅的纯度得达到99.%。也就是说亿个硅原子中只允许有一个是不符合要求的。

第一步:石英砂(Si02)的提纯成为工业硅。工业硅又称准金属硅,是本世纪六十年代中期出现的一个商品名称。金属硅是由硅石和碳质还原剂在矿热炉内冶炼成的产品,主成分硅元素的含量在98%左右(近年来,含Si量99.99%的也列在金属硅内),其余杂质为铁、铝、钙等。

工业硅

第二步:工业硅提纯为多晶硅。多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。

这里的多晶硅可分成两种:高纯度(99.%,11N)与低纯度(99.%,7N)两种。高纯度是用来制作IC等精密电路IC,俗称半导体等级多晶硅;低纯度则是用来太阳能电池的,俗称太阳能等级多晶硅。

工业硅

多晶硅

主要的制备方法有两种:多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法。

第三步:多晶硅提纯为单晶硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的硅就是单晶硅。单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加;有显著的半导电性。

晶柱

第四步:单晶硅切片成为晶圆。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片,也就是晶圆。晶圆的主要加工方式为片加工和批加工,即同时加工1片或多片晶圆。

切割好的晶圆

IC(集成电路)的设计

硅晶圆的制备,只是完成了芯片的载体而已,如果现在将芯片比作是一个精美的雕刻品的话(一个不太恰当的比喻),那么硅晶圆的制备,只是说明解决了原料的问题了。而是,IC的设计,就是在思考,如何在晶圆上作画,当IC设计好了,就是可以在晶圆上进行刻画了。

IC的设计过程可分为两个部分,分别为:前端设计(也称逻辑设计)和后端设计(也称物理设计),这两个部分并没有统一严格的界限,凡涉及到与工艺有关的设计可称为后端设计。

第一步规格制定:芯片规格,也就像功能列表一样,是客户向芯片设计公司(称为Fabless,无晶圆设计公司)提出的设计要求,包括芯片需要达到的具体功能和性能方面的要求。

第二步详细设计:根据客户提出的规格要求,拿出设计解决方案和具体实现架构,划分模块功能。

第三步编码,仿真,验证:编码就是:将模块功能以代码来描述实现。仿真就是:检验编码设计的正确性,检验的标准就是第一步制定的规格。看设计是否精确地满足了规格中的所有要求。规格是设计正确与否的黄金标准,一切违反,不符合规格要求的,就需要重新修改设计和编码。验证就是:将代码翻译成门级网表,不断去验证它的正确性。

第四步布局规划:在总体上确定各种功能电路的摆放位置,布局规划能直接影响芯片最终的面积。

第五步布线:这里的布线就是普通信号布线了,包括各种标准单元(基本逻辑门电路)之间的走线。

第六步物理版图验证:就是对于布线之后的版图,逻辑上的门级电路图对比验证。

上面只是IC设计上的主要的几个步骤,还有很多细节方面就不再赘述。物理版图验证完成也就是整个芯片设计阶段完成,下面的就是芯片制造了。

芯片制造

芯片,叫大规模的集成电路。芯片的制造就是做一件事情,将芯片设计电路图,转移到之前制备好的硅晶圆上。芯片的制造的过程和传统的相机有些像,之前冲洗照片的时候,是将底片,复制到了相纸上,而芯片制造是将IC电路图印刷到晶圆上。

第一步复刻IC电路图。也是最重要的步骤。它是用光透过光罩,投影到一层光敏物质上,再经过处理把曝光或是未曝光的地方洗掉,这样就可以把光罩的图案缩小数倍之后印在了晶片上。这个光罩的图案就是之前设计好的芯片电路图。

光罩

目前,最好的技术是EUV(极紫外光刻),而能提供EUV商业化光刻技术的只有荷兰的ASML一家公司。

第二步气相沉积和等离子刻蚀。前者主要是在硅片上制造薄膜,以及填坑。诸如可以用二氧化硅来填入沟渠中作为一道绝缘体,杜绝沟两边的电子单元相互之间的联系。后者主要是在硅片上挖坑,这步骤决定了元器件的大小,布线的宽窄。现在一个只有指尖大小的芯片往往集成了成千上万个电路。掩模作为芯片的模板,在它上面,一个图案的尺寸大约只有几纳米大小,没啥概念的话,举个例子,那就是像我们的一根头发丝的千分之一那么小。

第三步离子注入。就是用离子轰击暴露地区的硅片,用离子撞击植入硅片的方式来改变这些地区硅的导电性(比如硼,磷),有助形成PN结,离子需要非常高速的撞击到晶圆表面上,通过电场加速后的离子速度可以达到每小时30万公里。

第四步化学电镀。工艺主要是用于铜导线制造。其基本原理就是利用电镀技术把铜填入各种结构里作为导体。最初使用的是铝线,之后相对于铝来说,铜的电阻值小了40%,相当于提高了15%的微处理器的速度,同时可以减小能量在传输过程中的损耗,另外一方面,铜也比铝导线更耐久更容易加工成更小的尺寸。

以上就是IC制造中的最主要的部分,但是实际上并没有这么的简单。

芯片封装

IC在晶圆上制造好之后,需要进行测试,挑选出不合格的芯片。之后,对晶圆进行切割,切下来的每一个小块,就是一个芯片。

刻蚀好的晶圆

最后,将针脚和芯片封装在一起,就看到我们日常见到的样子。

封装

总结:

砂子到芯片的华丽转身,需要经过,晶圆准备,芯片设计,在晶圆上刻蚀和芯片的封装四步骤。




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