氧化硅包括一氧化硅和二氧化硅，化学式分别是SiO和SiO?。
一氧化硅是一种无机化合物常温常压下为黑棕色至黄土色无定形粉末，熔点°C，沸点°C，密度2.13g/cm3，难溶于水，能溶于稀氢氟酸和硝酸的混酸中并放出四氟化硅，在空气中加热时生成白色的二氧化硅粉末。一氧化硅不太稳定，在空气中会氧化成二氧化硅。当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化（见歧化反应）而成硅和二氧化硅。
一氧化硅一氧化硅微粉末因极富有活性，可作为精细陶瓷合成原料，如氮化硅、碳化硅精细陶瓷粉末原料。用作光学玻璃和半导体材料的制备。在真空中将其蒸发，涂在光学仪器用的金属反射镜面上，作为保护膜。半导体材料的制备。
二氧化硅二氧化硅，是一种无机化合物，硅原子和氧原子长程有序排列形成晶态二氧化硅，短程有序或长程无序排列形成非晶态二氧化硅。
物理性质：
晶态二氧化硅
密度：2.2g/cm3
熔点：℃
沸点：℃
折射率：1.6
受热时的变化：与强碱在加热时熔化，生成硅酸盐
溶解度：不溶于水，能与HF作用生成气态SiF
化学性质：比较稳定。不跟水反应。具有较高的耐火、耐高温、热膨胀系数小、高度绝缘、耐腐蚀、压电效应、谐振效应以及其独特的光学特性。
二氧化硅是制造玻璃、石英玻璃、水玻璃、光导纤维、电子工业的重要部件、光学仪器、工艺品和耐火材料的原料，是科学研究的重要材料。