导读:光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%,耗时约占整个芯片工艺的40%~50%,是半导体制造中最核心的工艺。
面对芯片问题,华为积极展开自救成立哈勃科技,短短三年时间已投资超过40家芯片公司。
01科普:何为光刻胶?它有什么作用?如果把芯片比作面包,那么材料就是面粉。但是,由于芯片的复杂性,在其制作过程中,所需要的材料当然不会像面包那么简单,每种材料都有各自的作用且不可或缺。
阿斯迈EUV光刻机内部工作模拟图,其精细复杂程度令人惊愕
光刻机大家都知道是芯片制造核心设备,高端产品由荷兰公司ASML全球唯一垄断。光刻机的作用是将芯片从电路设计图纸上像胶卷相机一样用光刻在硅片上形成实实在在的集成电路,而在这个过程中,光刻胶会被涂抹在硅片上,被光刻机按照电路图曝光形成电路的“影印”,进而成为芯片电路的遮板最终帮助电路在硅片上被刻蚀出来。从以上表述不难看出,光刻胶是芯片制造过程中非常重要的原材料。光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%,并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%~50%。光刻胶材料约占IC制造材料总成本的4%,市场巨大。因此光刻胶是半导体集成电路制造的核心材料。如果一家公司想把芯片制造出来的话,半导体材料不可或缺。
一台荷兰阿斯迈光刻机内部的紫外光源
02日本信越化学KrF光刻胶产能光刻胶产业链可以分为上游原材料,中游制造和下游应用三个环节。上游包括感光树脂、单体、光引发剂及添加助剂等原材料,中游包括PCB光刻胶、面板光刻胶和半导体光刻胶的制备,下游是各种光刻胶的应用。光刻胶行业具有极高技术壁垒,产业链呈现寡头垄断格局,日本独占鳌头。光刻胶行业具有极高的行业壁垒,因此呈现寡头垄断的局面,长年被日本和美国专业公司所垄断。目前前五大厂商占据了全球光刻胶市场87%的份额,行业集中度极高。5月27日,据产业媒体报道,由于日本信越化学KrF光刻胶产能不足等原因,导致中国大陆多家晶圆厂KrF光刻胶供应紧张,部分中小晶圆厂KrF光刻胶甚至出现了断供!据悉,信越化学之所以停止供货部分晶圆厂KrF光刻胶,与数月前日本福岛东部海域发生7.3级地震有莫大关联。
03华为进军光刻胶领域△Source:天眼查截图据悉,深圳哈勃成立于今年4月,注册资本20亿元,为华为旗下公司,其股东包括华为技术有限公司、华为终端(深圳)有限公司、哈勃科技投资有限公司。在成立短短的4个月时间内,深圳哈勃已经投资了7家企业,而徐州博康是其投资的第六家半导体企业。在此之前,深圳哈勃已经投资了云英谷、天域半导体、强一半导体、天仁微纳、以及欧铼德微电子等。04徐州博康实力强劲作为深圳哈勃最新投资的半导体厂商,徐州博康在光刻胶领域可谓实力强劲。资料显示,徐州博康成立于年3月25日,属博康集团旗下材料版块企业,是集研发、生产、经营中高端光刻胶、光刻胶单体和光刻胶树脂为主的国家高新技术企业。目前,博康实现了从单体、光刻胶专用树脂、光酸剂及最终产品光刻胶的国产化自主可控的供应链,产品线涵盖nm/nm光刻胶单体、nm/nm光刻胶、G线/I线光刻胶、电子束光刻胶等产品,产品广泛应用于IC集成电路制造、IC后段封装、化合物半导体、分立器件、电子束等。
据官方介绍,徐州博康拥有研发团队余人,其中博士和硕士占比50%以上,并配置有KrFNikonS,I9,I12,ACT8track,日立CDSEM等先进光刻检测设备,以及其它理化检测设备如ICP-MS、HPLC、GC、IR等。
徐州博康曾先后与中科院微电子所建立了校企联盟,与复旦大学、加拿大UBC大学等高校科研机构合作建设了光刻材料研发实验室,成功研发出世界最先进的纳米光刻胶单体并实现规模化生产,成为中国唯一的高端光刻胶单体材料研发和规模化生产企业。
05为知名半导体厂商服务
凭借技术上的积累,目前,徐州博康已成功开发出40+个中高端光刻胶产品系列,包括多种电子束胶,ArF干法光刻胶,KrF正负型光刻胶,I线正负型光刻胶及GHI超厚负胶,应用于IC集成电路制造多个环节,服务客户超家。
上海证券报今年7月曾报道,徐州博康的下游客户包括Intel、JSR等,而其子公司汉拓化学已开发10+高端光刻胶产品,服务客户超40家,包括国内IC领先制造企业,其光刻胶的二期生产基地即将投产,目前已成为上海华虹半导体、武汉长江存储合格供应商。
公开信息显示,博康信息为扩大产能和延伸产业链,新建年产1吨光刻材料及00吨电子级溶剂搬迁技改项目已经顺利投产,项目完全建成投产后,可实现年产值20亿元,利税超亿元,是中国目前产品最齐全、技术水平最高的光刻胶材料研发制造基地。
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不积跬步,无以至千里;不积小流,无以成江海。骐骥一跃,不能十步;驽马十驾,功在不舍。华为,加油!
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