新区顺利下线第一枚12英寸硅外延片

钱江晚报·小时新闻记者朱燕

近日,钱塘新区企业杭州中欣晶圆大硅片生产车间顺利下线第一枚12英寸硅外延片。自此,杭州中欣晶圆半导体股份有限公司(以下简称“中欣晶圆”)成为能独立完成从12英寸单晶、抛光到外延研发、生产的企业。

落地新区3年来,中欣晶圆相继实现了8英寸和12英寸硅抛光片的生产,填补了杭州半导体产业链的大硅片空白。那么,此次下线的12英寸硅外延片又有何不同,能够为新区乃至全国的半导体产业发展带来哪些利好?

据杭州中欣晶圆相关负责人介绍,半导体硅抛光片是芯片制造的基础材料,外延片则是在抛光片的基础上新生长一层硅单晶层。打个通俗的比方,抛光片就是毛坯房,外延片就是精装房,外延片更能适配一些高端芯片的制造。

随着新能源汽车、5G通信、物联网、智能手机等行业不断发展,国内芯片制造企业对于半导体硅外延片的需求出现井喷,但是国内能够生产优质半导体硅外延片的厂商屈指可数。

据了解,硅外延片的生产流程更长,技术难度也更大。从年初,中欣晶圆就启动了12英寸硅外延片的试生产,期间克服国外技术人员返程难、进口设备通关难等困境,最终在年末下线第一枚12英寸硅外延片,成为在大硅片生产领域的“全能型选手”。

12英寸硅外延片成功试生产,不仅让中欣晶圆的员工很激动,士兰微、立昂微等新区企业也第一时间


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