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上海微系统所硅光课题组研制出亚波长相变结构实现超小尺寸、高消光比的低功耗硅光开关
硅光集成是指利用CMOS工艺平台，将实现高性能调制、探测、传输和复用等功能的器件集成在同一芯片上，通过规模集成面向片上和片间光互连、高速光通信、集成传感和智能计算等提供性能更优、更具性价比的芯片和组件，其中低功耗、高性能的光开关是硅光集成在上述应用场景中都广泛需要的核心器件。
当前硅光集成开关器件主要采用马赫-曾德干涉仪或微环谐振器的结构设计，这些器件存在如占用空间大、对外界温度敏感和需要持续的外部电源来维持开关状态导致高静态功耗的不足，为高密度的硅光集成带来了额外的困难。非易失性相变材料被广泛