3月24日,SKC召开股东大会和董事会,任命朴元哲为新任CEO。他曾提及“半导体材料:以SKCsolmics为中心带动进行。以往把事业重点放在此前完全依赖从日本进口的基础材料替代品上,那么现在则是将能够彻底改变整个半导体产业链的材料作为新事业。”
SKCCEO朴元哲
SKC基于长期的材料技术经验、力争站在半导体材料韩国国产化的前沿。利用SKC在存储介质和聚氨酯业务中积累的技术实力,成功开发出了半导体特殊材料CMP研磨垫和空白光研磨。SKC通过不懈研发和与全球客户的紧密合作,正朝代表性半导体特殊材料企业迈进,进一步提高技术,以此推进半导体的能源效率化。
目前SKC生产的半导体材料分为陶瓷配件、CMP研磨垫、空白光掩模、湿化学品、精密清洗五个领域。
SKCsolmics正向着单晶硅(Si)、氧化铝(Al2O3)、碳化硅(SiC)、石英(Quartz)等半导体工艺用精细陶瓷新材料的开发、生产和加工业务迈进,为材料韩国国产化做出了巨大贡献。目前,SKCsolmics以优秀的研究人力和开发设备为基础,扩大大型陶瓷和高性能陶瓷材料技术的开发。今天我们聊一下陶瓷配件——碳化硅SiC。
概述:碳化硅(SiC)对比LP-CVD工艺中应用的硅和石英材料,其热导性、耐蚀性、耐化学性更好,而且热膨胀率低,因此可长时间使用的化合物材料.高纯SiC产品在1,℃以上的高温下稳定,可应用在半导体扩散工艺及常压CVD,LP-CVD。高韧性的碳化硅也可应用在切削工具,弹簧,发动机零部件等领域。
产品示例
材料特性
碳化硅化学性能稳定,可耐腐蚀HCI,HF,H,HSO,NaOH等物质
纯碳化硅单晶在常温下为绝缘体,但根据纯度及杂质种类不同
SiC表面进行CVD后,表面涂层可防止其他元素扩散,并增加酸性环境中的耐蚀性
主要产品
主要产品物性表
以上是碳化硅SiC的简单介绍,给大家参考了解。
敬请期待下一期——陶瓷配件_单晶硅Si。