氮化硅结合碳化硅陶瓷是一种结构陶瓷材料，通常情况下，采用高纯度的碳化硅和硅粉为原料，注浆形成坯体，通过氮化反应烧结而成。反应烧结氮化硅结合碳化硅制品，在硅粉与氮气发生反应的过程中，大致经历两个温度段：首先是升温阶段，然后是原料的氮化反应阶段。其中升温阶段装置内的温度由初始温度升高至℃左右，而原料氮化反应阶段的温度在～℃左右。
氮化硅/碳化硅复合陶瓷材料莫氏硬度为9左右，仅次于金刚石，氮化硅/碳化硅复合陶瓷材料具有低膨胀、高热导、绝缘以及寿命长等特性，同时此材料耐腐蚀、抗氧化、抗侵蚀能力强、绝缘性好，对一般的无机酸与碱溶液以及熔融有色金属均具有一定的承受能力。
近年来,反应烧结制备氮化硅结合碳化硅制品的研究已获得很大进展，由于碳化硅和氮化硅均具备良好的导热性，致使其在耐火材料及其它行业的应用越来越广泛。氮化硅/碳化硅复合陶瓷材料在实际使用过程中不会发生过量的高温变形，因此在大型炼铁炉、铝电解槽、陶瓷窑具、垃圾焚烧炉等高温领域得到广泛应用。