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创新点：中科院上海微系统所硅光课题组武爱民团队等利用CMOS兼容工艺在单模硅光波导上集成了Ge2Sb2Te5相变材料的亚波长结构，基于局域共振研制了具有非易失、低能耗、高消光比和稳定性好的超小尺寸片上光开关，在70nm的宽谱范围保持20dB以上的高消光性能，为大规模硅光集成在通信、计算和传感领域的应用提供了高性能器件。
关键词：硅光集成，非易失光开关，相变光子学，局域共振
硅光集成是指利用CMOS工艺平台，将实现高性能调制、探测、传输和复用等功能的器件集成在同一芯片上，通过规模集成面向片上和片间光互连、高速光通信、集成传感和智能计算等提供性能更优、更具性价比的芯片和组件，其中低功耗、高性能的光开关是硅光集成在上述应用场景中都广泛需要的核心器件。
当前硅光集成开关器件主要采用马赫-曾德干涉仪或微环谐振器的结构设计，这些器件存在如占用空间大、对外界温度敏感和需要持续的外部电源来维持开关状态导致高静态功耗的不足，为高密度的硅光集成带来了额外的困难。非易失性相变材料被广泛