齐鲁网·闪电新闻10月5日讯“蹲点沿黄一线,聆听黄河好声音”。9月18日起,闪电新闻推出系列蹲点报道《黄河好声音》,派出九路记者深入山东沿黄九市,以声音之变为切入点,带领大家听山东各地如何奏响黄河流域生态保护和高质量发展的新乐章。第九期,走进德州的半导体材料制造工厂,聆听这里的“成长”之声。
作为地壳中除氧之外含量最多的元素,硅与我们的生活息息相关,也成为很多产业创新的一个重要引擎。硅片因其技术成熟、成本稳定、应用广泛等特点,是目前用于制造半导体器件的主流材料。“目前来讲,95%以上的芯片都是制作在硅材料上面。”据SEMI统计,年全球晶圆制造材料市场总额达亿美元。其中,硅片和硅基材料的销售额占比达到36.64%,销售额约为亿元。
用于半导体器件加工的硅片对纯度有着极高要求,通常要达到99.%。此外,半导体硅片还对硅片的平整度、光滑度有较高要求。所以,99.%含量的多晶硅必须经过进一步的工序熔化、重新“生长”成一根单晶硅棒。
在山东有研半导体材料有限公司直拉单晶炉前,透过观察孔的防护玻璃罩可以看到,一根新拉制的硅单晶棒正在生长。度高温的炉内,多晶硅块要经过将近70个小时的生长周期,才能成为一根单晶硅棒。拉制成的单晶硅棒经过检测合格后才能进入硅片加工车间,再经过切片、倒角、研磨、贴片、抛光、清洗、测试、封装等多道精密工序制成硅抛光片,最终成为集成电路制造过程中重要的基础材料。
我国硅片产业起步较晚,技术积累相对落后。半导体硅片的国产替代空间巨大,近年来,随着国内加快半导体硅片的研发投入和建设,包括山东有研半导体材料有限公司在内的国内多家厂商,已经实现了12英寸主流半导体硅片的技术突破。可以预见,中国半导体产业未来的发展,将会涌现出更多的“中国力量”。
闪电新闻记者胡振华郑秀程周树茂通讯员赵庆川韩哲报道