杂质在硅晶体中的溶解度

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杂质在硅晶体中的溶解度

文章提到了杂质半导体,掺入杂质种类的不同(杂质在硅晶体中的存在类型)会影响最终得到的半导体类型。其实掺入杂质的数量(杂质在硅晶体中的溶解度)也会有对其有影响。

本文主要介绍杂质在硅晶体中的溶解度

在工艺制造中,对于掺入的杂质不仅要考虑类型还要考虑量。比如,是否能将同一种元素原子无限掺入硅晶体中,掺入量的多少对于硅晶体的结构和物理性质会有怎样的改变,掺入量与掺入速度之间是相互独立的还是互相关联,这些问题都值得考究。

把某元素引入硅晶体形成的晶体叫做固溶体,固溶体的特点就是会保持硅晶体的晶体结构。需要注意的是,固溶体并不仅仅针对硅晶体单独存在,对于其他的晶体也有同样的定义

一般将引入的元素A称作溶质,另一种元素晶体B是溶剂,当引入元素A的浓度在阈值之内时,元素晶体B的晶体结构是不会改变的,这个阈值就是元素A(杂质)在元素晶体B中的固溶度,也可以说是A在B中的最大溶解度。

按照溶质在溶剂中的存在形式,固溶体又分为两类,接下来进行详细介绍

在杂质在硅晶体中的固溶度一图中可以看到,固溶度与温度的变化不呈比例关系,在阈值温度之前,固溶度会随着温度的升高而增大,当温度到达某一阈值即接近硅熔点时,由图像可以看出,横坐标上的杂质浓度急剧减小,即固溶度迅速减小,也被称为固溶度的退化。不仅如此,由该图像还可以看到,在阈值温度之下,很宽的范围内固溶度,随温度的变化并不是很大。




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