二氧化硅(SiO2)具有硬度高、耐磨性好、绝热性好、光透过率高、抗侵蚀能力强以及良好的介电性质,主要以粉体材料的形式出现在工业应用的各个领域,如硅微粉、硅藻土粉体、白炭黑(气相法二氧化硅)等。今天我们来聊聊二氧化硅的另一种形态,那就是二氧化硅薄膜。
气相二氧化硅庞大的比表面积、表面多介孔结构和优异的吸附能力、奇异的理化特性和大小可调的孔道结构等性能使其在很多方面具有广泛的潜在应用价值。二氧化硅在光学领域中具有从紫外到红外的宽谱段透明特性,也是常用的低折射率光学沉积薄膜材料。二氧化硅薄膜在诸多领域得到了很好的应用,如用于电子器件和集成器件、光学薄膜器件、传感器等相关器件中。
近年来,已研制出适用在新型移动设备中的超薄导光膜。超薄导光膜己应用于智能手机、平板电脑和电子器件的客户、品牌和终端模组集成商、OEM厂商等。包括Surface平板电脑,亚马逊Kindle智能手机,华为平板电脑与智能手机,中兴通讯智能手机等,还应用于车用内饰照明。
当前Si基SiO2光波导无源和有源器件的应用技术较为成熟,这类器件不仅具有优良的传导特性,还具备光放大、发光和电光调制等基本功能,在光学集成和光电集成器件方面很有应用前景。